ARROYAVE FRANCO, M.; JARAMILLO OCAMPO, J. M. Patente como modelo de utilidad: reactor dual asistido por plasma generado por microondas para ataque iónico y deposición de materiales. Ingeniería y Ciencia, [S. l.], v. 8, n. 16, p. 337–338, 2012. Disponível em: https://publicaciones.eafit.edu.co/index.php/ingciencia/article/view/1719. Acesso em: 26 apr. 2024.