Diseño y construcción de un reactor mecatrónico para el crecimiento de películas delgadas por la técnica de recubrimiento por inmersión
DOI:
https://doi.org/10.17230/ingciencia.10.20.7Palabras clave:
recubrimiento por inmersión, sistema mecatrónico, películas delgadas.Resumen
Se presenta el diseño y construcción de un sistema mecatrónico automatizado para el crecimiento de películas delgadas por la técnica de recubrimiento por inmersión. El sistema consta de un porta sustrato que realiza desplazamientos verticales entre dos posiciones ajustables. El movimiento del porta sustrato es controlado por una cadena de transmisión accionada por un motor de corriente continua. Los finales de recorrido del porta-sustrato son sensados por micro-switchs colocados en los extremos del intervalo de movimiento. La adquisición de la señal de los micro-switchs y la generación de la señal de control para el motor son realizadas por una tarjeta de adquisición de datos National Instruments USB 6353. Desde una interfaz gráfica desarrollada en LabVIEW el usuario puede programar todos los parámetros del reactor, entre ellos las velocidades de inmersión y extracción de los sustratos y el tiempo de secado. Se presentan detalles de la construcción y operación del sistema.
PACS: 81.15.-z, 84.30.r
Descargas
Referencias
Jeffrey Brinker C, Hurd Alan J. Journal Physics III France. 1994, (4): 1231–1242.
Leal D, García L, Moronta D, Mantilla J. Revista de la Facultad de Ingeniería U.C.V. 2011, 26, (1): 143–148.
Morales Sánchez E, Menchaca Rivera A, García Cerda L A, Mendoza Galván A, Pérez Robles J F, Avilés Arellano LMR, Espinosa Beltrán F, Gaytan Martínez M, Osuna Alarcón J G. Tecnóloga. 2009, 2 (2): 35-45.
Tang N J, Zhong W, Jiang H Y, Wu X L, Liu W, Du Y W. Journal of Magnetism and Magnetic Materials. 2004, (282): 92–95.
Furubayashi T. Journal of Magnetism and Magnetic Materials. 2004, 272–276.
Zhang G, Fan C, Pan L, Wang F, Wu P, Qiu H, Gu Y, Zhang Y. Journal of Magnetism and Magnetic Materials. 2005, (293): 737–745.
Hu X, Xu M, Cui X, Zhang S. Solid State Communications. 2007, (142): 595–599.
Cárdenas Guerrero D C, Acevedo Peña P, Córdoba Tuta E M. Revista Latinoamericana de Metalurgia y Materiales. 2013, 33 (2): 2-11.
Carbajal De la Torre G, Espinosa Medina M A, Pacheco Ibarra J J, Ibarra Bracamontes L A, Galván S R. Superficies y Vacío. 2011, 24(4): 121-125.
Giornelli T, Löfberg A, Bordes-Richard E. [On line], [consultado 20-septiembre-2012]. Disponible en http://hal.archives-ouvertes.fr/docs/00/06/90/68/PDF/Inox.pdf
Martínez Hernández D, Córdoba C, Mera J, Paredes O. Revista Colombiana de Física. 2010, (42 No. 2): 208-212.
Medina Ramírez I E, Arámbula Miranda L E, Rizo Díaz F, Román Loera A. Investigación y Ciencia, DE LA UNIVERSIDAD AUTÓNOMA DE AGUAS CALIENTES. 2009, (45): 44-49.
KSV NIMA Dip Coaters. [On line], [consultado 10-enero-2013]. Disponible en http://www.ksvnima.com/file/ksv-nima-dcbrochure.pdf
BUNGARD: RDC 15 DIP COATER. [On line], [consultado 10-enero-2013]. Disponible en http://www.bungard.de/images/Tauchbeschichter/rdc_e.pdf
National Instruments Corporation: LabVIEW user manual. http://www.ebookbrowse.com/labview-user-manual-pdf-d318609414 (2013). Accessed 10 Jan 2013.
Publicado
Número
Sección
Licencia
Los autores que publican en esta revista están de acuerdo con los siguientes términos:
- Los autores conservan los derechos de autor y garantizan a la revista el derecho de ser la primera publicación del trabajo al igual que licenciado bajo una Creative Commons Attribution License que permite a otros compartir el trabajo con un reconocimiento de la autoría del trabajo y la publicación inicial en esta revista.
- Los autores pueden establecer por separado acuerdos adicionales para la distribución no exclusiva de la versión de la obra publicada en la revista (por ejemplo, situarlo en un repositorio institucional o publicarlo en un libro), con un reconocimiento de su publicación inicial en esta revista.
- Se permite y se anima a los autores a difundir sus trabajos electrónicamente (por ejemplo, en repositorios institucionales o en su propio sitio web) antes y durante el proceso de envío, ya que puede dar lugar a intercambios productivos, así como a una citación más temprana y mayor de los trabajos publicados (Véase The Effect of Open Access) (en inglés).


Plagiarism Detection