Identification by force modulation microscopy of nanoparticles generated in vacuum arcs
Palabras clave:
modulación de fuerza, fuerza atómica, nanogotas, TiN, Ti.Resumen
En este trabajo se presenta un método alternativo basado en microscopia de modulación de fuerza (FMM), para la identificación de nanogotas producidas en el plasma generado por los spots catódicos de los arcos en vacío. La técnica FMM esta habilitada para la detección de variaciones en las propiedades mecánicas de una superficie, con alta sensibilidad. Se han analizado recubrimientos de nitruro de titanio (TiN) depositados sobre Silicio orientado por el proceso de arco en vacío pulsado. Se han obtenido simultáneamente imágenes de microscopia de fuerza atómica (AFM) y de microscopia FMM mediante las cuales se ha podido identificar la presencia de nanogotas. Adicionalmente se han tomado espectros de difracción de rayos X (XRD) de las muestras recubiertas. Se ha reportado la existencia de partículas contaminantes de 47 nanómetros de diámetro sobre los recubrimientos.
PACS: 42.79.Wc, 68.35.Gy
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Referencias
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