Diseño y construcción de un reactor mecatrónico para el crecimiento de películas delgadas por la técnica de recubrimiento por inmersión
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Keywords
recubrimiento por inmersión, sistema mecatrónico, películas delgadas.
Resumen
Se presenta el diseño y construcción de un sistema mecatrónico automatizado para el crecimiento de películas delgadas por la técnica de recubrimiento por inmersión. El sistema consta de un porta sustrato que realiza desplazamientos verticales entre dos posiciones ajustables. El movimiento del porta sustrato es controlado por una cadena de transmisión accionada por un motor de corriente continua. Los finales de recorrido del porta-sustrato son sensados por micro-switchs colocados en los extremos del intervalo de movimiento. La adquisición de la señal de los micro-switchs y la generación de la señal de control para el motor son realizadas por una tarjeta de adquisición de datos National Instruments USB 6353. Desde una interfaz gráfica desarrollada en LabVIEW el usuario puede programar todos los parámetros del reactor, entre ellos las velocidades de inmersión y extracción de los sustratos y el tiempo de secado. Se presentan detalles de la construcción y operación del sistema.
PACS: 81.15.-z, 84.30.r
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Referencias
[2] Leal D, García L, Moronta D, Mantilla J. Revista de la Facultad de Ingeniería U.C.V. 2011, 26, (1): 143–148.
[3] Morales Sánchez E, Menchaca Rivera A, García Cerda L A, Mendoza Galván A, Pérez Robles J F, Avilés Arellano LMR, Espinosa Beltrán F, Gaytan Martínez M, Osuna Alarcón J G. Tecnóloga. 2009, 2 (2): 35-45.
[4] Tang N J, Zhong W, Jiang H Y, Wu X L, Liu W, Du Y W. Journal of Magnetism and Magnetic Materials. 2004, (282): 92–95.
[5] Furubayashi T. Journal of Magnetism and Magnetic Materials. 2004, 272–276.
[6] Zhang G, Fan C, Pan L, Wang F, Wu P, Qiu H, Gu Y, Zhang Y. Journal of Magnetism and Magnetic Materials. 2005, (293): 737–745.
[7] Hu X, Xu M, Cui X, Zhang S. Solid State Communications. 2007, (142): 595–599.
[8] Cárdenas Guerrero D C, Acevedo Peña P, Córdoba Tuta E M. Revista Latinoamericana de Metalurgia y Materiales. 2013, 33 (2): 2-11.
[9] Carbajal De la Torre G, Espinosa Medina M A, Pacheco Ibarra J J, Ibarra Bracamontes L A, Galván S R. Superficies y Vacío. 2011, 24(4): 121-125.
[10] Giornelli T, Löfberg A, Bordes-Richard E. [On line], [consultado 20-septiembre-2012]. Disponible en http://hal.archives-ouvertes.fr/docs/00/06/90/68/PDF/Inox.pdf
[11] Martínez Hernández D, Córdoba C, Mera J, Paredes O. Revista Colombiana de Física. 2010, (42 No. 2): 208-212.
[12] Medina Ramírez I E, Arámbula Miranda L E, Rizo Díaz F, Román Loera A. Investigación y Ciencia, DE LA UNIVERSIDAD AUTÓNOMA DE AGUAS CALIENTES. 2009, (45): 44-49.
[13] KSV NIMA Dip Coaters. [On line], [consultado 10-enero-2013]. Disponible en http://www.ksvnima.com/file/ksv-nima-dcbrochure.pdf
[14] BUNGARD: RDC 15 DIP COATER. [On line], [consultado 10-enero-2013]. Disponible en http://www.bungard.de/images/Tauchbeschichter/rdc_e.pdf
[15] National Instruments Corporation: LabVIEW user manual. http://www.ebookbrowse.com/labview-user-manual-pdf-d318609414 (2013). Accessed 10 Jan 2013.